电子混合气
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电子混合气是含有两种或两种以上有效组份,或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的混合气体。
产品特性
电子混合气精准度高,常存储在高压气瓶中。可大致分为外延混合气、化学气相淀积混合气、掺杂混合气、蚀刻混合气及其他电子混合气。
应用说明
电子混合气广泛应用在半导体集成电路生产的掺杂等生产工艺中。
应用领域
能源和化学品
电子电器